Piezoelektrische HfxAl1-xN-Schichten zur Her-stellung energieefizienter „bulk accoustic wave“ Bauelemente für Mobilfunk-Technologien mit Recyclingprozess
AZ: 20024/042
Zeitraum
30.11.-0001 - 30.11.-0001
Institut
Universität Freiburg Institut für Nachhaltige Technische Systeme (INATECH)